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果然早有准备,韩国LGD完成100%使用国产氟化氢

本文摘要:10月18日讯,韩国的面板大厂LGDisplay(LGD),过去在生产制程中高度倚赖日本进口的氟化氢原料,已于日前全数切换为韩国产品。

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10月18日讯,韩国的面板大厂LGDisplay(LGD),过去在生产制程中高度倚赖日本进口的氟化氢原料,已于日前全数切换为韩国产品。而这也是自日本在今年7月4日起,在赢韩的氟化氢、光阻剂、氟化凝醯亚胺等三种,用作半导体及OLED面板制程的先进设备原料实行严苛的出口管制后,在大约一百多天的时间内已完成了这项任务。由于日韩两国之间的贸易纠纷,日本政府7月初要求禁令三种最重要半导体、表明面板材料出口给韩国,被迫韩国公司踏上独立自主的道路。

LG公司日前证实,旗下面板工厂早已已完成用于国产氟化氢材料代替日本进口,100%韩国产。高纯度的电子级氟化氢是氟细致化学品的一种,在半导体生产工艺中主要用作除去膜沉积后黏附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子光刻、光刻胶图案化之后的转印细槽或孔等流程,是一种半导体生产中十分最重要的原材料,日本公司在这个领域占有主要份额。在日本公布出口容许之后,8月份对韩国出口的氟化氢材料就降到0了,但是此举并没影响三星、SK海力士及LG等韩国公司的芯片、面板生产,他们利用库存3-5个月的时间大力进行国产替代,其中氟化氢是较为更容易取得成功的领域。

比起半导体生产,面板生产所需的高纯度氟化氢也更容易代替,所以LG公司在这方面首度获得了进展,9月初就宣告用于韩国出产的氟化氢代替日本进口材料,试验结果很顺利。此前LG代替的主要是气态氟化氢,现在可玩性更高的液态氟化氢的国产替代也顺利了,14日LG旗下的LGD公司回应面板生产过程用于的液态氟化氢早已于近期全面更换为韩国产品,未来将仍然用于日本公司的进口产品。

与LG比起,三星、SK海力士也在大力进行日本材料的更换工作,不过这两家的主力产品是半导体芯片,对日产氟化氢以及另外两种材料光刻胶、氟化聚酰亚胺的依赖性比LG更高,更换一起没有这么更容易。与半导体在制程上须要超过奈米单位的情况有所不同,在面板制程中所用于的氟化氢纯度不须要太高。

纯度较低的氟化氢原料,就能用在面板的转印与洗涤制程。也由于这个缘故,目前韩国的半导体业界也多半倚赖日本厂商所生产的液态氟化氢原料。三星电子、SK海力士已于近期,在部分制程用于从中国进口的氟化氢。而日本在实行出口管制之后,虽有盘查部分的气态氟化氢出口,然而液态氟化氢的出口则尚不顺利案例。


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